لىتوگرافىيە ماشىنىسى ماسكا تەڭشەش ماشىنىسى فوتو ئويۇش ماشىنىسى

ئۆلچەم

1. ئاشكارلىنىش دائىرىسى: 110mm × 110mm；
2. ★ ئاشكارلىنىش دولقۇن ئۇزۇنلۇقى: 365nm؛
3. ئېنىقلىق دەرىجىسى: ≤ 1m؛
4. تەڭشەش توغرىلىقى: 0.8 مېتىر؛
5. تەڭشەش سىستېمىسىنىڭ سىكانىرلاش ئۈستىلىنىڭ ھەرىكەت دائىرىسى كەم دېگەندە تۆۋەندىكىگە ماس كېلىشى كېرەك: Y: 10mm؛
6. تەڭشەش سىستېمىسىنىڭ سول ۋە ئوڭ چىراغ تۇرۇبىلىرى X، y ۋە Z يۆنىلىشلىرىدە ئايرىم-ئايرىم ھەرىكەتلىنەلەيدۇ، X يۆنىلىشى: ± 5mm، Y يۆنىلىشى: ± 5mm ۋە Z يۆنىلىشى: ± 5mm؛
7. ماسكا چوڭلۇقى: 2.5 دىيۇم، 3 دىيۇم، 4 دىيۇم، 5 دىيۇم؛
8. ئۈلگە چوڭلۇقى: پارچىسى، 2 "، 3"، 4 "؛
9. ★ ئەۋرىشكە قېلىنلىقىغا ماس كېلىدۇ: 0.5-6 مىللىمېتىر، ئەڭ كۆپ بولغاندا 20 مىللىمېتىر ئەۋرىشكە پارچىلىرىنى كۆتۈرەلەيدۇ (خاسلاشتۇرۇلغان)؛
10. ئاشكارلىنىش ھالىتى: ۋاقىت بەلگىلەش (ۋاقىتنى ھېسابلاش ھالىتى);
11. يورۇتۇشنىڭ بىردەك ئەمەسلىكى: <2.5%؛
12. قوش مەيدانلىق CCD ماسلاشتۇرۇش مىكروسكوپى: چوڭايتىش ئوبيېكتىۋى (1-5 قېتىم) + مىكروسكوپ ئوبيېكتىۋىۋى؛
13. ماسكىنىڭ ئەۋرىشكە نىسبەتەن ھەرىكەت سىزىقى كەم دېگەندە تۆۋەندىكىدەك بولۇشى كېرەك: X: 5mm؛ Y: 5mm؛ : 6º；
14. ★ ئاشكارلىنىش ئېنېرگىيە زىچلىقى: > 30MW / cm2،
15. ★ تەڭشەش ئورنى ۋە ئاشكارىلاش ئورنى ئىككى پونكىتتا ئىشلەيدۇ، ئىككى پونكىت سېرۋو ماتورى ئاپتوماتىك ئالماشتۇرۇلىدۇ؛
16. تېگىش بېسىمىنى تەڭشەش سېنزور ئارقىلىق تەكرارلىنىشنى كاپالەتلەندۈرىدۇ؛
17. ★ تەڭشەش بوشلۇقى ۋە ئاشكارلىنىش بوشلۇقىنى رەقەملىك شەكىلدە تەڭشىگىلى بولىدۇ؛
18. ★ ئۇنىڭدا نانو ئىزى ۋە يېقىنلىق ئارىلىقى بار؛
19. ★ سېزىمچان ئېكران ئارقىلىق ئىشلەش؛
20. ئومۇمىي ئۆلچىمى: تەخمىنەن 1400mm (ئۇزۇنلۇقى) 900mm (كەڭلىكى) 1500mm (ئېگىزلىكى).